El primer el va preparar a partir del diòxid de manganès, mentre que el segon ho va fer escalfant l'òxid de mercuri, que havia disposat prèviament, amb una potent lent  a sobre del mercuri d'un tub baromètric.

En els seus estudis sobre la combustió, Lavoisier va perfeccionar aquest últim experiment i, determinant les propietats més importants, va posar de manifest la presència d'oxigen en l'aire i en l'aigua i va donar al gas el nom d'oxigen (formador d'àcids), ja que creia que tots els àcids contenien aquest element.

El 1877 Cailletet i Pictet el van liquar per primera vegada.